Optische Vermessung


Vermessung Optik
Vermessung Kantenradien
LED Qualitätsprüfung
Elektronik und Optik

Aufgabenstellung

Der Entwicklungsprozess optischer Komponenten, insbesondere von Mikrostrukturen, verlangt nicht nur die Modellierung und Optimierung angepasster Oberflächen und Strukturen sondern auch die Analyse der gefertigten Komponente hinsichtlich der Einhaltung bestimmter geometrischer Parameter und gegebenenfalls die Überprüfung der lichttechnischen Auswirkungen fertigungsbedingter Abweichungen durch die praxisgerechte Nachführung des Simulationsmodells. Hierzu sind oftmals genauere messtechnische Untersuchungen im Submillimeterbereich notwendig.


Ebenso ist in der qualitativen und quantitativen Begutachtung elektronischer Bauteile und Schaltungen eine mikroskopische Analyse unerlässlich.


Umsetzung

Wir nutzen ein trinokulares Zoom-Messmikroskop mit parallelem Strahlengang für minimierte Abbildungsfehler zur exakten Vermessung (mittels Objektmessplatte), welches mit entsprechender Vorsatzlinse eine Gesamtvergrößerung von 4-fach bis 80-fach ermöglicht. Bei hoher Vergrößerung erlaubt die sehr geringe Schärfentiefe zudem eine Tiefenmessung von Strukturen mit einer Reproduziergenauigkeit von bis zu 7µm mit Hilfe einer zusätzlich installierten digitalen Messuhr.


Durch einen Zusatzadapter kann das mikroskopierte Bild direkt mit einer angeschlossenen digitalen Spiegelreflexkamera hochauflösend dokumentiert und bei Bedarf auch als Live-Bild an den PC übertragen werden. Die Software METRIC PE zur messtechnischen Auswertung von Radien, Abständen, Flächen etc. rundet die Analysemöglichkeiten (nicht nur im mikroskopischen Bereich) ab.